長年培った保全経験でお客様の装置を保全サポート
メンテナンス事業部
半導体や電子デバイス製造工場の真空装置をはじめとする様々な生産装置のメンテナンスからオーバーホール、トラブル保全をサポートします。
01
SERVICE
定期メンテナンス
（常駐・オンコール）
安全・確実な作業で技術ノウハウを積み重ね、装置安定稼働と品質向上にご協力します。また、メンテナンス手順や保全関係のドキュメント化にもご協力します。
対応装置実績
- イオン注入装置
- ドライエッチング装置
- 成膜装置
- CMP装置
- リソグラフィ装置
- 自動搬送装置（搬送ロボットのリペアなど）
※対応可能装置は、お問い合わせください。
02
SERVICE
装置オーバーホール
（予知・予防保全）
オーバーホールの内製化にご協力し、コスト削減に貢献します。
イオン注入装置のオーバーホールも対応します。
また、オーバーホール計画立案や特定部位作業のご依頼も承っておりますのでご相談ください。
※対応可能装置は、お問い合わせください。
03
SERVICE
トラブル保全
（診断・復旧・分析～対策・改善提案）
長年培った保全経験を活かし、装置復旧をします。また、復旧後は装置安定稼働に向けて尽力します。トラブルシュート等のドキュメント化にもご協力します。
04
SERVICE
ご依頼の契約形態
オンコールだけでなく、派遣契約・委託契約等の常駐形態で、お客様の現場に寄り添った保全サービスを提供します。（労働者派遣事業許可取得）
※各種契約形態については、ご相談ください。
