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SERVICE

装置開発・
設計・製作

お客様の仕様に合わせ、省人化・省力化、メンテナンス性に配慮した設計を行います。
半導体業界をはじめ一般産業用における工場・生産設備の開発・設計・製造を行います。

対応範囲

  • 新規装置・カスタマイズ設計
  • 治工具設計
  • 制御設計
  • 新規装置製造・改造
薬液供給装置

薬液供給装置

PVC製酸洗浄機

PVC製酸洗浄機

製作実績

  • 酸/アルカリ/有機薬液洗浄装置
  • 酸/アルカリ/有機薬液ドラフト
  • 酸/アルカリ/有機薬液供給装置
  • イオン注入装置メンテナンス用湿式型掃除機
  • ウェハー移載機
有機洗浄ドラフト

有機洗浄ドラフト

イオン注入装置メンテナンス用湿式掃除機

イオン注入装置メンテナンス用湿式掃除機

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SERVICE

工事施工

安全第一をモットーに、お客様のご要望・仕様に合わせた施工と製作をおこなっています。
半導体、FPD業界をはじめとする工場での新設、改造に伴う純水ライン・薬液ライン・ガスラインをPFA配管・BA配管で施工します。長年の経験と実績をいかし、工期短縮・パーティクル管理・安全対策・コストダウンにご協力いたします。また、弊社にて製作した装置のユーティリティ、ファシリティ工事も併せて行います。

工事施工実績

  • PFA管による二重配管施工
  • BA管自動溶接による施工
PFA管による二重配管施工

BA管自動溶接による施工

BA管自動溶接による施工

PFA管による二重配管施工