半導体・電子デバイス製造装置のパーツ洗浄
洗浄再生事業部
半導体・電子デバイス製造装置、付帯設備のパーツ洗浄、オーバーホールをはじめとして、お客様の条件に合わせたパーティクル管理を行い、高度な精密洗浄を行っております。
よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します。
お預かりから納入まで厳密な工程管理体制のもと、たしかな技術であらゆる部品を地球にやさしく洗浄・再生します。
さらに品質（Quality）、価格（Cost）、納期（Delivery）の全てを優先としたサービスを展開しお客様のものづくりに大きく貢献しています。
01
SERVICE
ドライ洗浄サービス
市場が高まるGaNパワーデバイス・LED製造装置に使用している構成パーツを、母材を傷めることのない、ドライ洗浄サービスを展開しています。MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで再利用することが可能になり、お客様のコスト削減に大きく貢献しています。
対象材質品目
- 石英
- SiCコートカーボン
- SiC
- サファイア
ドライ洗浄装置
SiC製パーツ ドライ洗浄後
02
SERVICE
精密洗浄サービス
（ウェット洗浄）
半導体製造装置の部品を中心にこれまでに培ってきた知識・経験を活かし、母材・生成物の状況に応じて適切な薬剤を選定し、ウェット洗浄サービスを展開しています。アセンブリ化した部品も対応が可能です。
イオン注入、スパッタ、ＣＶＤ装置の構成部品を中心に精密洗浄を行います。拡散炉、エッチング、リソグラフィ工程の精密洗浄も対応可能です。
対象材質品目
- 石英
- セラミック
- ステンレス
- モリブデン
- タングステン等の各種金属や樹脂部品
03
SERVICE
洗浄サービス拠点
半導体、液晶工場のお客様を中心に国内に6つの拠点を構え、全国に向けてサービスを展開しています。 お客様のご要望に応え、あらゆる製品に対応しております。
